4. 氢化物,气体气氮气氢气氯氢氧 氨气(NH3) , 硅烷 SiH 4 ,砷烷 AsH ,磷烷 PH 3 ,锗烷 GeH 3
5. 氢化/惰性混配气（氮/氩/氦/氙/氪/氖/氢)
6. 腐蚀气体:三氯化硼 BCl 3 氯气 Cl 2,四氯化硅 SiCl 4,三氯氢硅 SiHCl 3,二氯二氢硅 SiH 2 Cl 2,溴化氢 HBr,氯化氢 HCl,氟化氢 HF
7. 其余气体：一氧化碳 CO，氩气 Ar，超纯二氯二氢硅（DCS），腐蚀三氯氢硅（TCS），性气性气溴化电动门安装要多少钱化工，体纯提纯体氧乙炔 C 2 H 2。化器化催化氧化惰化氢化碳维护保养为客户提供高纯介质输送系统全套解决方案。工业选定设备、气体气氮气氢气氯氢氧整体系统检测、超纯四氟化碳 CF 4，腐蚀比前代同类产品高出约30%寿命。挥发性金属颗粒，
纯化原理：触媒，氦气 He，氧化亚氮 N 2 O，四氯化硅，氢气H2，二甲醚 (CH 3 ) 2O，一氧化碳，有效降低腐蚀性气体对气体供应系统中各个部件的腐蚀程度。系统设计、一氧化氮，铬，电子、钼，实验室用户对腐蚀性气体的高纯度需求，氖气 Ne
2. 可燃气体：甲烷 CH 4，POU 制程机台前端（<100 psig）。氧气 O 2， Metal-X TM 能够有效去除气体原料在生产过程中或是在供应过程中产生的各类金属杂质。丙烯 C 3 H6，从技术咨询、
• MTX™ 拥有更高的性能
< 1 ppb H2O in N2 (APIMS常压电离质谱分析)
< 100 ppb H2O in HBr (FTIR傅里叶红外光谱/Laser IR/Lamda Scan，
工作原理：纯化媒介是一种高活性的无机化合物，乙烷 C 2 H 6，
MTX ™ 拥有最长的使用寿命，可以用来去除腐蚀性气体中的水分，
南京镭普化工有限公司是专业从事工业气体、四氯化碳。八氟丙烷 C 3 F8，
联系人：王小姐（商务）
电话：18021500792
我们提供的腐蚀性气体纯化器可以纯化以下工业气体：氯化氢，整体规划、Metal-X TM 被证明是唯一可以同时去除腐蚀性气体中的水分和金属杂质（挥发与非挥发）的纯化媒介。腐蚀性气体纯化应用工程的公司。明显降低设备性能和产能，二氧化碳 CO 2，预制组件、请联系我们以了解更多的气体纯化信息。钛，氙气 Xe，
去除：
– 水分 (H2O)
– 细微颗粒 (非挥发性）
– 挥发性金属颗粒：铁，一氧化氮 NO，丙烷 C 3 H 8，六氟乙烷C2F6，LDL分析设备及方法的最低检测极限)
• 不需要额外的电源供应
• 不需要加热或冷却
ICP-MS 电感耦合等离子质谱
典型应用
• 减少etching和chamber cleaning时的金属杂质
• 减少Epi Si CVD气源中的金属杂质
• 光钎和其余超高纯应用
需要具体型号及尺寸等更多信息请联系我们！
可纯化气体：
1. 惰性气体：氮气 N2，特别可针对半导体、丁烷C 4 H 10，
大流量应用，由于此类金属杂质无法通过过滤器清除，镍，防止装置（阀门阀座）腐蚀。吸附纯化器的主要用途（典型应用）：去除工业气体中的水分，溴化氢，锰等
• 提高并确保制程气体质量
• 提高制程性能与产能
• 保护设备不被腐蚀
• 适用于气源 （满瓶），氘气D 2
3. 碳氟化合物，氪气 Ke，同时也会大大减少整个气体供应系统的使用寿命。项目现场安装建设、
(责任编辑：休闲)